[发明专利]用于测量在微型平版印刷偏转器系统中的标记位置的方法

摘要

本发明涉及一种用于确定在偏转器系统中任意形状图案的坐标的方法。所述方法主要包括以下步骤：在第一方向(X)上移动图案，通过对在垂直的方向(Y)上执行直到检测了边缘为止的微扫掠的次数进行计数来计算图案边缘的位置，确定垂直于该第一(X)和该第二(Y)方向两者的第三方向(Z)上的表面反射变化的校正函数，以及通过使用校正函数以补偿该第三方向上的变化而使所计数的微扫掠的次数与图案的移动速度相关来确定坐标。本发明还涉及实现该方法的软件。

主权项

1.一种用于确定在偏转器系统中表面上的任意形状图案的坐标的方法，其特征在于该方法包括以下步骤：a)选择定义在第一方向(X)上的移动的参考时钟信号(λ/2)，b)提供在垂直于该第一方向(X)的第二方向(Y)上重复扫描所述表面的微扫掠，c)选择与用于开始在该第二方向(Y)上的每个微扫掠的信号相关联的测量时钟信号(SOS)，d)调整该第一方向(X)上的移动速度，以确定每个微扫掠的开始之间的距离，e)执行第一次运行，其包括以下步骤：e1)在开始位置处开始第一次微扫掠，e2)当图案相对于偏转器系统在该第一方向(X)上移动时，检测该任意形状图案的至少一个边缘，e3)如果检测到该图案的边缘，则生成至少一个事件，以及e4)对直到生成每个事件为止所执行的微扫掠进行计数，f)使用所执行的微扫掠的次数为每个事件计算在该第一方向(X)上的边缘的坐标，g)在执行步骤a)-f)之前、期间、或之后确定该表面的校正函数，以建立在该表面上的测量点的x-y平面内的二维局部偏移(d)，从而补偿垂直于该第一方向(X)和该第二方向(Y)的第三方向(Z)上的变化，以及h)使用所确定的校正函数计算任意形状图案的坐标。