[发明专利]带有高满刻度值的集成式压力传感器无效
| 申请号： | 200580051619.4 | 申请日： | 2005-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN101268348A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | G·里科蒂;M·莫雷利;L·德拉托雷;A·L·维塔利 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/00;G01L9/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;杨松龄 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及了带有高满刻度值的集成式压力传感器。具体而言，在带有高满刻度值的集成式压力传感器(15)中，半导体材料单块体(16)具有第一和第二主表面(16a和16b)，第一和第二主表面(16a和16b)相对，并由基本相等的距离(w)分开。单块体(16)具有主体区(17)，主体区(17)具有邻近于第一主表面(16a)(压力(P)作用于其上)的敏感部分(23)。第一压力电阻检测元件(18)集成在敏感部分(23)中，并具有作为压力(P)的函数的可变电阻。主体区(17)是实心并且紧凑的区域，并具有基本上等于距离(w)的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 刻度 集成 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器(15)，包括：具有第一和第二主表面(16a和16b)的半导体材料单块体(16)，所述第一和第二主表面(16a和16b)彼此相对，并由距离(w)分开，所述单块体(16)还具有主体区(17)，所述主体区(17)具有敏感部分(23)，所述敏感部分(23)与压力(P)作用于其上的所述第一主表面(16a)邻近，和第一压力电阻检测元件(18)，且集成在所述敏感部分(23)上，并具有作为压力(P)的函数而可变的电阻，其特征在于，所述主体区(17)是实心和紧凑的区域，并具有与所述距离(w)基本相等的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于意法半导体股份有限公司，未经意法半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580051619.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：螺旋钻杆
- 下一篇：套管钻井井口专用泵入短节
