[发明专利]带有双测量刻度和高满刻度值的集成式压力传感器有效
| 申请号： | 200580051620.7 | 申请日： | 2005-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN101268350A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | G·里科蒂;M·莫雷利;L·德拉托雷;A·L·维塔利;U·马斯特罗马特奥 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L19/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;杨松龄 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明涉及带有双测量刻度和高满刻度值的压力传感器。具体而言，具有双测量刻度的压力传感器(15)，包括：半导体材料单块体(16)，该单块体(16)具有第一主表面(16a)、主体区(17)、和压力(P)作用于其上的敏感部分(33)；形成在单块体(16)中、并由膜片(19)与第一主表面(16a)分隔的空腔(18)，膜片(19)设置在敏感部分(33)中、并由主体区(17)环绕，膜片(19)是柔性的，并作为压力(P)的函数是可变形的；对压力(P)的第一值敏感的压力电阻型低压力感应元件(28)，压力电阻型低压力感应元件(28)集成在膜片(19)内，并具有作为膜片(19)变形的函数而可变化的电阻；另外，同样是压力电阻型的高压力感应元件(29)形成在主体区(17)中的敏感部分(33)内，并具有作为压力(P)的函数而可变的电阻。高压力感应元件(29)对压力(P)的第二值敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 测量 刻度 集成 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种具有双测量刻度的压力传感器(15)，包括：半导体材料单块体(16)，半导体材料单块体(16)具有第一主表面(16a)、主体区(17)、以及压力(P)作用于其上的敏感部分(33)，形成在所述单块体(16)中、并通过膜片(19)与所述第一主表面(16a)分隔开的空腔(18)，所述膜片(19)是柔性的，并且作为所述压力(P)的函数是可变形的，所述膜片(19)设置在所述敏感部分(33)内，并由所述主体区(17)包围，和压力电阻型第一低压力感应元件(28)，所述第一低压力感应元件(28)集成在所述膜片(19)内，对所述压力(P)的第一值敏感，并具有作为所述膜片(19)的变形之函数的可变电阻，其特征在于，所述压力传感器(15)还包括高压力敏感元件(29)，所述高压力敏感元件(29)设置在所述膜片(19)外部，并对比所述压力(P)的第一值更高的所述压力(P)第二值敏感。
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