[发明专利]微光学衍射光栅及其制造方法

摘要

本发明涉及用于电磁辐射的微光学衍射光栅及适于制造其的方法。根据本发明的衍射光栅尤其可以用作显微分光计，其中可以以扫描微光栅的形式使用根据本发明的衍射光栅。根据所提出的目的，应该提供具有改善表面拓扑的衍射光栅，并且可以成本有效地大规模生产。在本发明的衍射光栅中，在基材(1)的表面上形成表面结构，该表面结构由等距离布置的、互相平行布置的线形结构元件(2)构成。此外，基材和结构元件的整个表面涂覆有至少一个其它层(3、4、5)，所述层形成具有交替布置的波峰和波谷的均匀的正弦波形表面轮廓。对于反射光栅可以另外施加反射层，以提高反射辐射的强度。

主权项

1.一种用于电磁辐射的微光学衍射光栅，其中在基材(1)的表面中形成有表面结构，所述表面结构由等距离布置并互相平行对齐的线形结构元件(2)形成，并且基材(1)和结构元件(2)的整个表面涂覆有至少一个另外的层(3、4、5)，其中所述层(3、4、5)形成具有交替布置的波峰和波谷的均匀的正弦波形表面轮廓。