[发明专利]接触单元以及检查系统

摘要

本发明提供一种具有简易的构成，而且在与检查对象之间可进行正确定位的接触单元。在接触单元(2)所具备的支撑基板(15)的上面，对应于作为检查对象的电路形成区域(5a)所具备的测试垫(11)的配置形态，配置有接触探针(13)的同时，对应于虚设垫(7a)至(7d)，配置有检测探针组(14a)至(14d)。检测探针组(14)是由探针(19、20)所构成，而分别连接于构成位置关系检测部(22)的发光二极管(12)及电压源(21)。以接触单元(2)实施检查时，经由探针(19、20)与所对应的虚设垫(7)接触而互为导通时，发光二极管会发光，因此借助确认发光二极管(12)的发光状态，即可判定是否正确进行定位。

主权项

1.一种接触单元，关于在表面上形成有包含用于电信号的输入或输出的配线构造的多个导电区域的检查对象，进行对上述配线构造的电连接，其特征在于，该接触单元包括：输入输出端子，其对应于上述配线构造的配置图案而配置，与对应的上述配线构造电连接，对上述配线构造进行规定的电信号的输入或输出的至少一方；检测端子群，其由对应于规定的上述导电区域而配置的多个端子所形成，被用于依据经由所对应的上述导电区域的上述多个端子间的导通有无，来检测该接触单元与上述检查对象之间的位置关系；及支撑基板，其用以保持上述输入输出端子及上述检测端子群。