[发明专利]微正压控制合成石英玻璃反应器

摘要

本发明公开了一种微正压控制合成石英玻璃反应器，包括一封闭炉体，置于炉体中的基础杆和基础杆端头的沉积砣面，炉体上部设向沉积砣面投料的燃烧器，下部设排风通道，其中，排风通道中设有闸板，排风通道连接排风风机；炉体上部还设一连通炉体内部和外界的测试管，测试管炉外端的一支通过阀门连通氮气管，另一支依次连通一过滤器和通过一软细气管连通一差压变送器，差压变送器电连接一控制单元，控制单元电控制排风风机。本发明能实时检测炉膛的微正压值，实时控制入口和出口气体的流量和流速，使炉膛气氛保持1.5－3mm水柱的微正压，从而提高沉积效率和沉积速率，减少料的损耗，提高合成石英玻璃锭的产品质量，降低能耗。

主权项

1、一种微正压控制合成石英玻璃反应器，包括一封闭炉体，置于炉体中的基础杆和基础杆端头的沉积砣面，所述炉体上部设向沉积砣面投料的燃烧器，下部设排风通道，其特征在于，所述排风通道中设有闸板，排风通道连接排风风机；所述炉体上部还设一连通炉体内部和外界的测试管，所述测试管炉外端的一支通过阀门连通氮气管，另一支依次连通一过滤器和通过一软细气管连通一差压变送器，所述差压变送器电连接一控制单元，控制单元电控制所述排风风机。