[发明专利]形成荫罩板图案的方法有效
| 申请号： | 200610000428.1 | 申请日： | 2006-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1824825A | 公开（公告）日： | 2006-08-30 |
| 发明（设计）人： | 金振圭;韩尚辰;康熙哲;姜有珍;金泰亨 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L21/203;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王琦;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开的是一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括要附着到罩板框的附着部分，以及在其中形成图案的图案区域。该方法包括：将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到罩板片和辅助片；并在罩板片的图案区域上形成图案。这样，当均匀分布的外力被施加到罩板片上时，就会在罩板片上形成预定的图案，因此可以防止罩板片的弯曲或偏离平面，从而形成精确的罩板图案。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 荫罩板 图案 方法 | ||
【主权项】：
1、一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括固定到罩板框的附着部分以及在其中形成图案的图案区域，该方法包括：将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到所述罩板片和辅助片；并且在罩板片的图案区域上形成图案。
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