[发明专利]一种快速提高真空室真空度的方法无效
| 申请号： | 200610000989.1 | 申请日： | 2006-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1811011A | 公开（公告）日： | 2006-08-02 |
| 发明（设计）人： | 舒勇华;樊菁;李帅辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种快速提高真空室真空度的方法，在真空室内，使活性高且稳定性好的金属蒸发形成蒸气粒子，并将该蒸气粒子沉积于金属板表面形成金属膜，金属粒子及其形成的新鲜金属膜可以快速吸附真空室内的气体分子，并进一步生成稳定的固态物质。本发明一种快速提高真空室真空度的方法，在真空室内，采用蒸发方式，使少量活性高且稳定性好的金属材料蒸发为蒸气粒子，蒸气粒子迅速与真空室内的水蒸气、氧气、氢气等气体发生反应，生成稳定的固态物质，从而达到快速提高真空室的真空度的目的。采用本方法提高真空室的真空度，不仅费用低廉而且迅速高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 提高 真空 方法 | ||
【主权项】：
1、一种快速提高真空室真空度的方法，其特征在于，在真空室内，使活性高且稳定性好的金属蒸发形成蒸气粒子，并将该蒸气粒子沉积于金属板表面形成金属膜，金属粒子及其形成的新鲜金属膜可以快速吸附真空室内的气体分子，并进一步生成稳定的固态物质。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院力学研究所，未经中国科学院力学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610000989.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：塑料合金防火电缆桥架
- 下一篇：淋浴装置
- 同类专利
- 专利分类
