[发明专利]流量传感器有效
| 申请号： | 200610001247.0 | 申请日： | 2006-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN1928508A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 佐久间宪之;山本直树;武田健一;福田宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 季向冈 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种流量传感器，能够通过在半导体衬底上隔着绝缘膜形成具有相对较高的TCR的金属膜来实现高灵敏度。作为热式流体流量传感器的测量元件包括：由第1金属膜构成的发热电阻体(3)、测温电阻体(上游侧测温电阻体(4a)和下游侧测温电阻体(4b))、以及空气温度测温电阻体(5)，由用溅射法在含金属的非晶质膜(9)上淀积得到的具有Ta结晶块的3倍或3倍以下电阻率的α－Ta膜形成上述第1金属膜。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 | ||
【主权项】：
1.一种流量传感器，包括在半导体衬底上隔着绝缘膜形成的发热电阻体和测温电阻体，计量流体或气体流量，该流量传感器的特征在于：至少上述测温电阻体由金属膜构成，上述金属膜的电阻率，小于或等于由构成上述金属膜的主要成分的金属元素构成的结晶块的电阻率的3倍。
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