[发明专利]温度/厚度的测量装置、测量方法、测量系统、控制系统和控制方法有效
| 申请号： | 200610001281.8 | 申请日： | 2006-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN1804567A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 铃木智博;舆水地盐 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00;G01B11/06;H01L21/324 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种温度/厚度测量装置，减轻装置安装的麻烦程度，不在各测量对象物上形成用于通过测量光的孔就可一次测量多个测量对象物的温度或厚度。包括：照射具有透过各测量对象物并反射的波长的光的光源、将来自光源的光分离为测量光和参照光的分离器、用于反射来自分离器的参照光的参照光反射单元(例如参照镜)、用于改变从参照光反射单元反射的参照光的光路长度的光路长度改变单元(例如驱动参照镜的驱动单元)、用于测量将来自分离器的参照光向参照光反射单元照射时从参照光反射单元反射的参照光与将来自分离器的测量光向多个测量对象物按照透过各测量对象物的方式加以照射时从各测量对象物反射的各测量光的光的干涉的光接收单元。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 厚度 测量 装置 测量方法 系统 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种温度/厚度测量装置，根据光的干涉测量相对配置的多个测量对象物的温度或厚度，其特征在于，该温度/厚度测量装置包括：照射具有透过所述各测量对象物并反射的波长的光的光源；将来自所述光源的光分离为测量光和参照光的分离器；反射来自所述分离器的参照光的参照光反射单元；改变从所述参照光反射单元反射的参照光的光路长度的光路长度改变单元；将来自所述分离器的参照光传输到向所述参照光反射单元照射的参照光照射位置的参照光传输单元；将来自所述分离器的测量光传输到向所述多个测量对象物按照透过所述各测量对象物的方式加以照射的测量光照射位置的测量光传输单元；和测量从所述各测量对象物反射的各测量光与从所述参照光反射单元反射的参照光的光的干涉的光接收单元。
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