[发明专利]衬底运载装置无效
| 申请号： | 200610001446.1 | 申请日： | 2006-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN1936072A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | T·格贝勒;O·海默尔;T·克卢格 | 申请（专利权）人： | 应用薄膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种用于衬底的运载装置，其包括两个竖直板和两个水平板。为了衬底运送通过溅射装置过程中其边缘区域被均匀地涂敷或镀膜，在所述两个竖直板之间提供了一种杠杆机构。所述杠杆机构包括至少一个水平板片或板条，在热能的作用下该至少一个水平板片或板条膨胀的程度小于所述水平板的膨胀程度。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 运载 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于衬底的运载装置，其包括两个竖直板和两个水平板，其特征在于，在所述两个竖直板(3、4)之间提供了一种杠杆机构(分别是10、15、16、20；25、27、31、32和45、46、53到56)，该杠杆机构包括至少一个板片或板条(45、46)，该板片或板条的热膨胀系数低于所述水平板(41、42)的热膨胀系数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用薄膜有限公司，未经应用薄膜有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610001446.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
