[发明专利]改善彩色光阻特性的方法及彩色光阻剂无效
| 申请号： | 200610001851.3 | 申请日： | 2006-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101008781A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 郭光埌;戴伟仁;温世豪 | 申请（专利权）人： | 新应材股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/033 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 中国台湾桃园县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明主要是在含有既定原色颜料(Pigment)的彩色光阻当中添加水溶性单体(water－soluble Monomer)和非水溶性单体(water－insoluble Monomer)的混合物，藉以提升既定光阻微影制程的显影速度，并且进一步获致相同或更好的残膜率百分比；以及，藉由水溶性单体(water－soluble Monomer)和非水溶性单体(water－insoluble Monomer)混合物的添加，达到提升显影图像(Developing pattern)对比(Contrast)的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 彩色 特性 方法 光阻剂 | ||
【主权项】：
1、一种改善彩色光阻显影速度的方法，是在含有既定原色颜料(Pigment)添加水溶性单体(water-solubleMonomer)和非水溶性单体(water-insoluble Monomer)的混合物，藉以提升既定光阻微影制程的显影速度。
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