[发明专利]角速度传感器及其制造方法无效
申请号: | 200610001940.8 | 申请日: | 2006-01-23 |
公开(公告)号: | CN1811460A | 公开(公告)日: | 2006-08-02 |
发明(设计)人: | 松户秀亮;吉松昌裕;井上孝弘;菊池贤一 | 申请(专利权)人: | 日本电波工业株式会社 |
主分类号: | G01P9/04 | 分类号: | G01P9/04 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种易于固定音叉型石英元件及调整并且防止因废弃不合格品造成浪费,又易于小型化的角速度传感器及其制造方法。本发明特别涉及一种包括如下结构的角速度传感器,包括:音叉型石英元件,其上配置驱动电极及传感电极;独立台座,其上固定音叉基部的一个主面且预先一体化;容器主体,其密封上述音叉型石英元件,并且有供与上述音叉型石英元件一体化的上述台座固定到其底面用的凹部;振荡电路,驱动上述音叉型石英元件;信号处理电路;上述容器主体内、外部配置IC,与上述台座一体化的上述音叉型石英元件的重心移向上述音叉基部,上述台座具有可以保持上述音叉型石英元件的水平方向的重量或/及形状。 | ||
搜索关键词: | 角速度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种角速度传感器,其包括:音叉型石英元件,其上配置激励音叉振动的驱动电极及检测出随被检测体的角速度而产生的电荷的传感电极;独立的台座,其上固定上述音叉型石英元件的音叉基部的一个主面且预先一体化;容器主体,其密封上述音叉型石英元件,并且有供与上述音叉型石英元件一体化的上述台座固定到其底面用的凹部;振荡电路,驱动上述音叉型石英元件;信号处理电路,其根据上述电荷,生成对应角速度的信号;上述容器主体内、外部配置的IC,其特征在于:与上述台座一体化的上述音叉型石英元件的重心移向上述音叉基部,上述台座具有可以保持上述音叉型石英元件的水平方向的重量或/及形状。
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