[发明专利]电声转换元件、阵列型超声波转换器以及超声波诊断装置有效
| 申请号： | 200610002116.4 | 申请日： | 2006-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN1886006A | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 梅村晋一郎;东隆;永田达也;福田宏;峰利之;町田俊太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00;A61B8/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郝庆芬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于在使膜片型电声转换元件的电声转换特性稳定的同时，降低使用该电声转换元件构成的超声波诊断装置的噪音级。由在硅底板(1)上所形成的下部电极(2)和在其上部夹持空隙部(4)的上部电极(6)形成的电容器单元(8)构成电声转换元件(9)，使用电气时间常数比1秒短且比10微秒长的材料，例如在化学计量方面过多包含硅的氮化硅形成在上部电极(6)的空隙部(4)一侧形成的电极短路防止膜(5)。其结果，电极短路防止膜(5)因为变得具有微弱的导电性，所以可以防止向电极短路防止膜(5)的带电或其漂移。其结果，电声转换元件(9)的电声转换特性稳定，而且超声波诊断装置的音响噪音级降低。 | ||
| 搜索关键词： | 电声 转换 元件 阵列 超声波 转换器 以及 诊断 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电声转换元件，它包含在硅底板上形成的第一电极、和在所述第一电极的上部夹持空隙部，并与所述第一电极相向形成的第二电极，其特征在于，在所述第一电极以及第二电极中至少某一方的电极的空隙部一侧形成有电极短路防止膜，所述电极短路防止膜具有微弱的导电性，决定该导电性的电气时间常数比提供给该电声转换元件的电源电压的上升时间足够短，且比作为该电声转换元件转换对象的声波的振动周期足够长。
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