[发明专利]点矩阵式循序电泳沉积制作碳纳米管电子发射源的方法无效

专利信息
申请号: 200610002295.1 申请日: 2006-01-27
公开(公告)号: CN101009186A 公开(公告)日: 2007-08-01
发明(设计)人: 郑奎文;萧俊彦;李协恒;李裕安;蔡金龙 申请(专利权)人: 东元电机股份有限公司
主分类号: H01J9/02 分类号: H01J9/02;C25B7/00;C01B31/02
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 代理人: 余朦;方挺
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种点矩阵式循序电泳沉积制作碳纳米管电子发射源的方法,提供了一种交错式电泳沉积技术,使电泳沉积过程的时间中仅形成单一像素电场,从而使仅该电泳区域有电泳沉积效果;其中阴极板的多个阴极电极为纵向排列,该电极上设置有多个电子发射源待被沉积的位置,而电泳使用的阳极板上的多个阳极电极与阴极电极垂直对应配置,利用开关单元循序方式对各阴极电极与阳极电极依循序变化分别提供阴极电极或阳极电极的电位差,当进行电泳时,在单位时间内在阴阳极板间仅其中一个交错的像素有电场形成,从而仅在该区域产生沉积效果以制作碳纳米管电子发射源,利用各阴极电极或阳极电极的循序电压变化来实现阴极板全部像素的电泳沉积。
搜索关键词: 矩阵 循序 电泳 沉积 制作 纳米 电子 发射 方法
【主权项】:
1.一种点矩阵式循序电泳沉积制作碳纳米管电子发射源的方法,包括:a)、以电源装置的阳极端连接阳极板的多个阳极电极,将电源装置的阴极端连接于开关单元的输入端,而所述开关单元的输出端连接于阴极板的多个阴极电极上,所述多个阴极电极与所述多个阳极电极呈垂直对应,再将信号产生单元连接于所述多个开关单元的输入端;b)、调制电泳槽内部的电泳溶液,将所述阴极板与所述阳极板呈平行对应地置放在所述电泳槽中;c)、所述电源装置的阳极端将电压输出至所述阳极板的多个阳极电极,而所述信号产生单元将产生的脉冲信号输入到所述多个开关单元,在电泳沉积制作时,仅有一个所述开关单元导通,其余的开关单元不导通,使所述阴极板中的一个阴极电极呈通电状态,从而在电泳时间中所述阴极电极与所述阳极电极间仅单一像素形成电位差以产生电场,从而在被导通的阴极电极预备沉积电子发射源的位置上形成碳纳米管;d)、在所述被导通的阴极电极进行电泳沉积制作时,所述导通中的开关单元同时计时,一旦计时时间到达预定时间后,将切断导通中阴极电极的供电状态,并以下一个开关单元导通、其余开关单元不导通的循序方式对下一个阴极电极进行循序电泳沉积制作。
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