[发明专利]半导体器件以及制造半导体器件的方法有效

专利信息
申请号: 200610002411.X 申请日: 2006-01-27
公开(公告)号: CN1848431A 公开(公告)日: 2006-10-18
发明(设计)人: 宋均镛;阎江;丹尼·P-C.·舒姆;阿洛艾斯·古特曼 申请(专利权)人: 国际商业机器公司;英芬能技术北美公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L21/82
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 秦晨
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种半导体器件,包括半导体主体,其包含具有第一晶向的半导体材料。第一晶体管在具有第一晶向的半导体材料中形成。绝缘层覆盖半导体主体的部分并且半导体层覆盖绝缘层。该半导体层具有第二晶向。第二晶体管在具有第二晶向的半导体层中形成。在优选实施方案中,半导体主体是(100)硅,第一晶体管是NMOS晶体管,半导体层是(110)硅并且第二晶体管是PMOS晶体管。
搜索关键词: 半导体器件 以及 制造 方法
【主权项】:
1.一种半导体器件,包括:半导体主体,包含具有第一晶向的半导体材料;第一晶体管,在具有第一晶向的半导体材料中形成;绝缘层,覆盖半导体主体的多个部分;覆盖绝缘层的半导体层,该半导体层具有第二晶向;外延生长的半导体区域,覆盖半导体层;以及第二晶体管,在具有第二晶向的外延生长半导体区域中形成。
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