[发明专利]干膜的使用方法有效
| 申请号： | 200610002541.3 | 申请日： | 2006-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN1996143A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 曾琮彦;黄敏龙;蔡骐隆;杨敏智 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/26;H01L21/56 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人： | 费开逵 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种干膜的使用方法。首先，提供一干膜压合于一例如晶圆的基板上，该干膜包括一贴附于该基板的光阻层以及一显露的透光载膜。在曝光显影之前，在暗室内清洗该干膜的透光载膜，其清洗方法可包括化学喷洗与去离子水清洗的步骤，藉以清除透光载膜上的残留污染物，同时可去除干膜毛边，以提升后续曝光显影的制程良率。 | ||
| 搜索关键词： | 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种干膜的使用方法，包括：提供一干膜，其包含有一透光载膜及至少一光阻层；以及压合该干膜至一基板，使得所述光阻层贴附于基板；其特征在于：该方法还包括在暗室内清洗所述干膜的透光载膜。
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