[发明专利]步进式热处理装置无效
| 申请号： | 200610003050.0 | 申请日： | 2006-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN1815119A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 高羽义明;岩田崇 | 申请（专利权）人： | 诺利塔克股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B9/24 | 分类号： | F27B9/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;杨光军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供能够尽可能地缩短加热上升时间，或者能够缩短加热处理时间的步进式热处理装置。根据步进式热处理装置10，由于固定梁20以及可动梁22，是由透明的石英管构成的，因此来自于卤素加热器(加热体)78的辐射能量可以通过该透明的石英管而到达基板的背面，因此与以往的步进式热处理装置相比，便很容易均匀地急速加热，并可以缩短上升时间或加热处理时间。其结果，能够尽可能地减少热处理给基板的特性造成影响的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 步进 热处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种步进式热处理装置，它是具备交替进行炉长方向的相对移动和上下方向的相对移动的第1梁以及第2梁、和具有用于辐射加热通过该第1梁以及第2梁的协作而被输送的基板的加热体的加热炉，利用该第1梁和第2梁之间的交接输送前述基板通过前述加热炉的步进式热处理装置，其特征在于：前述第1梁及/或第2梁中的至少一部分，由透明的陶瓷构成。
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