[发明专利]光感测集成电路元件无效

专利信息
申请号: 200610003189.5 申请日: 2006-02-22
公开(公告)号: CN1870281A 公开(公告)日: 2006-11-29
发明(设计)人: 吴天启 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人: 刘新宇
地址: 台湾省新竹科学*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供一种光感测集成电路元件,是由形成于半导体基底上的光电二极管、介电层、金属接触孔、金属层和保护堆叠层所组成。微透镜是形成于上述层上,其中微透镜包括非平面的表面,特别是,此微透镜是为形成于光电二极管上两面凸的微透镜,可导引、传递和聚焦入射光,以增加量子效率,且改进光学特性。彩色滤光层是形成于微透镜和光电二极管上方,以过滤特定波长的光。
搜索关键词: 光感测 集成电路 元件
【主权项】:
1.一种光感测集成电路元件,其特征在于,所述光感测集成电路元件包括:一基底;多个光电二极管,形成于该基底上;多个微透镜,形成于该光电二极管上方,其中该微透镜包括至少两个非平面且具有不同曲率的表面的上非平面表面部分和下非平面表面部分;及多个彩色滤光层形成于对应的微透镜上方。
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