[发明专利]提高图案化性能的光阻剂无效
| 申请号： | 200610003206.5 | 申请日： | 2006-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1818783A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 李东基;李义国 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭鸿禧;李友佳 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种光阻剂，包含碱溶性树脂、光敏剂和溶剂。碱溶性树脂包含由间甲酚合成的第一类酚醛清漆树脂，第一类酚醛清漆树脂的平均分子量为大约8000至25000并且其多分散指数为四或更小。第一类酚醛清漆树脂在碱溶性树脂中的含量为大约5wt.％至30wt.％。光阻剂还可包含由间甲酚和对甲酚的混合物合成的第二类酚醛清漆树脂。第二类酚醛清漆树脂的平均分子量为大约2000至6000，并且间甲酚与对甲酚的重量比为4∶6。第二类酚醛清漆树脂在碱溶性树脂中的含量为大约70wt.％至95wt.％。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 图案 化性 光阻剂 | ||
【主权项】：
1、一种光阻剂，包含碱溶性树脂、光敏剂和溶剂，其中，所述碱溶性树脂包含由间甲酚合成的第一类酚醛清漆树脂，所述第一类酚醛清漆树脂的平均分子量为大约8000至25000。
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