[发明专利]化学品源的管理系统与方法无效
| 申请号： | 200610003268.6 | 申请日： | 2006-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN1862381A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 张逸辉 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;G06Q99/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种化学品源的管理系统与方法。在一实施例之中，该系统包括可拆装地承载化学品储槽的支撑件。该系统包括与该支撑件相匹配，用来连接制程模组的化学品供应结构，其中当化学品储槽以可拆装地安装于支撑件之中时，化学品供应结构可将化学品从化学品储槽之中传送出来。该系统包括和支撑件相匹配的识别读取器(Identification Reader；ID Reader)，其中当化学品储槽以可拆装地安装在支撑件中时，识别读取器会自动与和化学品储槽相匹配的储槽识别单元进行通讯。该系统包括连结于识别读取器并设置与制程模组相结合的控制模组。本发明可藉由扫描装设在新化学品储槽上的条码，辨识化学品储槽中化学品的种类，而可避免在光阻制作过程中产生操作上的错误。 | ||
| 搜索关键词： | 化学品 管理 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种管理化学品源的系统，其特征在于其至少包括：一支撑件，是藉由可拆装地来承载一化学品储槽；一化学品供应结构，和该支撑件相匹配用来连接到一制程模组，其中当该化学品储槽以可拆装地安装于该支撑件之中时，该化学品供应结构可以将一化学品从该化学品储槽之中传送出来；一识别读取器，和该支撑件相匹配，其中当该化学品储槽以可拆装地安装在该支撑件中时，该识别读取器会自动与关联于该化学品储槽的一储槽识别单元进行通讯；以及一控制模组，连结于该识别读取器之上，用来与该制程模组相结合。
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