[发明专利]内藏电容组件的测试方法及其测试系统无效

专利信息
申请号: 200610003444.6 申请日: 2006-02-08
公开(公告)号: CN101017185A 公开(公告)日: 2007-08-15
发明(设计)人: 卓威明;徐钦山;陈昌升;李明林;赖信助 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: G01R27/26 分类号: G01R27/26;G01R31/00;G01R31/26;G01R31/27;H01L21/66;H01L23/64;H05K1/16
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 梁挥;徐金国
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种内藏电容组件的测试方法及其测试系统,用来测定基板架构中的内藏电容性组件的电性规格,以避免不符规格的基板结构进入后续制作流程。其通过测量内藏电容组件的几何尺寸,并从模型数据库中取得电气参数与几何尺寸的关系数值及标准电气参数,据此来计算出内藏电容组件的电气参数,再通过比较标准电气参数和电气参数来得到一误差值,并借助此误差值确定基板结构是否符合所设定的电性规格。
搜索关键词: 内藏 电容 组件 测试 方法 及其 系统
【主权项】:
1、一种内藏电容组件的测试方法,用来测试一基板结构,其中该基板结构具有一内藏电容组件,其特征在于,该测试方法包括有如下步骤:测量该内藏电容组件的至少一几何尺寸;根据该基板结构,从一模型数据库中取得至少一电气参数与几何尺寸的关系数值;根据该基板结构,从一模型数据库中取得至少一标准电气参数;以该电气参数与几何尺寸的关系数值和该几何尺寸计算该内藏电容组件的至少一电气参数;比较该标准电气参数和该电气参数,得到一误差值;以及确认该误差值,借此来确定该基板结构是否符合所设定的电性规格。
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