[发明专利]一种声表面波器件的制备方法无效
| 申请号： | 200610003586.2 | 申请日： | 2006-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN101022270A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 王丛舜;牛洁斌;涂德钰;谢常青;陈宝钦;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种声表面波器件的制备方法，其工艺步骤如下：1.在压电基片上旋涂压印胶；2、制备声表面波器件压模并对其表面进行防粘连处理；3.将带有声表面波器件电极图形的压模压入压印胶中，通过加热、加压或紫外光辐照固化等压印方式得到电极的胶图形；4.分离压模和基片；5.利用氧等离子干法刻蚀残胶，直到露出基片；6.溅射或蒸发电极材料；7.剥离得到电极图形，完成声表面波器件的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种声表面波器件制备方法，是由一次压印、一次淀积和一次剥离来获得声表面波器件；其特征在于，其步骤如下：步骤1、在压电基片上旋涂压印胶；步骤2、制备声表面波器件压模并对其表面进行防粘连处理；步骤3、将带有声表面波器件电极图形的压模压入压印胶中，进行压印，得到电极的胶图形；步骤4、分离压模和基片；步骤5、利用氧等离子干法刻蚀残胶，直到露出基片；步骤6、在基片上蒸发或溅射电极材料；步骤7、剥离，在基片上得到电极图形，完成器件的制作。
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