[发明专利]平台装置有效
申请号: | 200610004947.5 | 申请日: | 2006-01-11 |
公开(公告)号: | CN1808625A | 公开(公告)日: | 2006-07-26 |
发明(设计)人: | 佐野直人 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00;G01N21/956;G03F9/00;H01L21/30 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 胡建新 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明对于依据激光测长器的测量结果进行位置控制的平台装置,可实现Abbe误差少的平台装置。在移动平台(10)上设有工件保持平台(22),载置有工件(30)。在移动平台(10)中内置有激光测长器(42),且,在移动平台(10)的侧面安装有激光反射单元(44),使从激光出射入射口(43)出射入射的激光的光轴,移动到工件保持平台(22)的表面的位置为止。镜(41)设置于与工件保持平台(22)相对的位置,激光由全反射镜(45a)及全反射镜(45b)反射,入射至被设在与全反射镜(45b)相对的位置上的镜(41)。被镜(41)反射的激光由全反射镜(45b)及全反射镜(45a)反射,并入射至激光测长器(42)。 | ||
搜索关键词: | 平台 装置 | ||
【主权项】:
1、一种平台装置,具备:移动平台,具有出射入射测长用的激光的激光测长器,并在平面内移动;工件保持平台,设置于上述移动平台上,并保持工件;反射面,设在与上述工件保持平台相对的位置,反射从上述移动平台的激光测长器出射的激光;和平台移动控制部,依据从激光测长器到反射面的距离,使上述移动平台移动,所述从激光测长器到反射面的距离藉由被上述反射面反射的激光入射至上述激光测长器来测长,其特征为:在上述移动平台上安装有使上述激光测长器的激光出射入射口的高度与上述反射面对准的光学部件。
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