[发明专利]与非门快闪存储装置的回复方法无效
申请号: | 200610005032.6 | 申请日: | 2006-01-18 |
公开(公告)号: | CN1848438A | 公开(公告)日: | 2006-10-18 |
发明(设计)人: | 李柱烨 | 申请(专利权)人: | 海力士半导体有限公司 |
主分类号: | H01L27/115 | 分类号: | H01L27/115;G11C16/06 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 一与非门快闪存储装置藉由将一预定偏压施加至漏极或源极来回复。将负偏压施加至单元栅极以使得电子得以射入单元的浮动栅极中。此使得擦除阈值电压的分布变窄且最小化由周边单元的状态所引起的干扰。该回复方法包括:提供半导体衬底;提供多个单元区块,每一单元区块具有多个形成于半导体衬底上的单元串,每一单元串包括多个串联的单元;在单元串与漏极区域间提供漏极选择晶体管;在单元串与源极区域间提供源极选择晶体管;其中藉由在擦除之后将第一预定偏压经由选定位线施加至漏极区域、将第二预定偏压施加至选定单元区块的漏极选择晶体管及将第三预定偏压施加至选定单元区块的源极选择晶体管、并将接地电压施加至源极来回复装置。 | ||
搜索关键词: | 与非门 闪存 装置 回复 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于一与非门快闪存储装置的回复方法,该方法包括:提供一半导体衬底;提供多个单元区块,该等单元区块的每一者具有多个形成于该半导体衬底上的单元串,该等单元串的每一者包括多个串联耦接的单元;提供一形成于一单元串与一漏极区域之间的漏极选择晶体管;提供一形成于一单元串与一源极区域之间的源极选择晶体管;其中该与非门快闪存储装置藉由在擦除该装置之后将一第一预定偏压经由一选定位线施加至该漏极区域、将一第二预定偏压施加至一选定单元区块的该漏极选择晶体管及将一第三预定偏压施加至该选定单元区块的该源极选择晶体管、并将一接地电压施加至该源极来回复。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的