[发明专利]自动化蚀刻控制系统、装置与方法无效

专利信息
申请号: 200610005079.2 申请日: 2006-01-17
公开(公告)号: CN101004598A 公开(公告)日: 2007-07-25
发明(设计)人: 李瑛奇 申请(专利权)人: 奇奕国际股份有限公司
主分类号: G05B19/04 分类号: G05B19/04;G05B19/048
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波;侯宇
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种自动化蚀刻控制系统、装置及方法被揭露。此自动化蚀刻系统包括蚀刻装置、添加单元、分析单元、侦测单元及控制单元。蚀刻装置容纳蚀刻液与至少一基板以蚀刻基板。添加单元储存蚀刻液的至少一成分。分析单元分析蚀刻液以产生分析结果。侦测单元侦测基板的数量。控制单元电连接至分析单元以接收分析结果。控制单元包括处理模块、计时模块及面积模块。处理模块产生第一添加信号至添加单元。计时模块在经过预定期间时发出启动信号至分析单元以分析蚀刻液。面积模块电连接至侦测单元以接收基板信号,并产生第二添加信号至添加单元。添加单元选择性地依据第一添加信号及第二添加信号,而将相对应的成分添加至蚀刻装置。
搜索关键词: 自动化 蚀刻 控制系统 装置 方法
【主权项】:
1.一种自动化蚀刻控制装置,包含:蚀刻装置,用于容纳蚀刻液与至少一基板,以蚀刻该基板,该蚀刻液由多种成分所组成;添加单元,储存有该蚀刻液的至少一成分;分析单元,用于分析该蚀刻液以产生分析结果;侦测单元,用于侦测该基板的数量,并产生基板信号以指示出该基板的数量;控制单元,电连接至该分析单元以接收该分析结果,该控制单元包含:处理模块,用于依据该分析结果而产生第一添加信号至该添加单元;计时模块,用以进行计时,在经过预定期间时,发出启动信号至该分析单元以分析该蚀刻液;面积模块,电连接至该侦测单元以接收该基板信号,并依据该基板信号而产生第二添加信号至该添加单元;其中该添加单元选择性地依据该第一添加信号及该第二添加信号,而将相对应的该成分添加至该蚀刻装置。
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