[发明专利]自动化蚀刻控制系统、装置与方法无效
申请号: | 200610005079.2 | 申请日: | 2006-01-17 |
公开(公告)号: | CN101004598A | 公开(公告)日: | 2007-07-25 |
发明(设计)人: | 李瑛奇 | 申请(专利权)人: | 奇奕国际股份有限公司 |
主分类号: | G05B19/04 | 分类号: | G05B19/04;G05B19/048 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种自动化蚀刻控制系统、装置及方法被揭露。此自动化蚀刻系统包括蚀刻装置、添加单元、分析单元、侦测单元及控制单元。蚀刻装置容纳蚀刻液与至少一基板以蚀刻基板。添加单元储存蚀刻液的至少一成分。分析单元分析蚀刻液以产生分析结果。侦测单元侦测基板的数量。控制单元电连接至分析单元以接收分析结果。控制单元包括处理模块、计时模块及面积模块。处理模块产生第一添加信号至添加单元。计时模块在经过预定期间时发出启动信号至分析单元以分析蚀刻液。面积模块电连接至侦测单元以接收基板信号,并产生第二添加信号至添加单元。添加单元选择性地依据第一添加信号及第二添加信号,而将相对应的成分添加至蚀刻装置。 | ||
搜索关键词: | 自动化 蚀刻 控制系统 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种自动化蚀刻控制装置,包含:蚀刻装置,用于容纳蚀刻液与至少一基板,以蚀刻该基板,该蚀刻液由多种成分所组成;添加单元,储存有该蚀刻液的至少一成分;分析单元,用于分析该蚀刻液以产生分析结果;侦测单元,用于侦测该基板的数量,并产生基板信号以指示出该基板的数量;控制单元,电连接至该分析单元以接收该分析结果,该控制单元包含:处理模块,用于依据该分析结果而产生第一添加信号至该添加单元;计时模块,用以进行计时,在经过预定期间时,发出启动信号至该分析单元以分析该蚀刻液;面积模块,电连接至该侦测单元以接收该基板信号,并依据该基板信号而产生第二添加信号至该添加单元;其中该添加单元选择性地依据该第一添加信号及该第二添加信号,而将相对应的该成分添加至该蚀刻装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奇奕国际股份有限公司,未经奇奕国际股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200610005079.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。