[发明专利]具有垂直梳状电极结构的致动装置无效
| 申请号： | 200610005171.9 | 申请日： | 2006-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1881004A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | 高泳哲;赵镇佑 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了具有垂直梳状电极结构的致动装置(actuator)。所述致动装置包括：在第一方向上来回移动的平台(stage)；支撑所述平台的来回移动的支撑单元；和平台驱动单元，包括在所述第一方向上从所述平台的相对侧向外延伸的垂直驱动梳状电极，和设置在基板上、与所述驱动电极交替的垂直固定梳状电极，其中所述固定梳状电极包括比所述驱动梳状电极低的第一固定梳状电极、形成于所述第一固定梳状电极上的绝缘层、和形成于所述绝缘层上比所述驱动梳状电极底表面高的第二固定梳状电极。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 垂直 电极 结构 装置 | ||
【主权项】：
1.具有垂直梳状电极结构的致动装置，所述致动装置包括：在第一方向上来回移动的平台；支撑所述平台来回移动运动的支撑单元；和平台驱动单元，包括在所述第一方向上从所述平台的相对侧向外延伸的垂直驱动梳状电极，和设置在基板上与所述驱动电极交替的垂直固定梳状电极，其中所述固定梳状电极包括比所述驱动梳状电极低的第一固定梳状电极、形成于所述第一固定梳状电极上的绝缘层、和形成于所述绝缘层上比所述驱动梳状电极底表面高的第二固定梳状电极。
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