[发明专利]微波陶瓷元器件检测夹具与装置及其检测方法

摘要

微波陶瓷元器件检测夹具与装置及其检测方法，涉及一种元器件检测装置，提供一种适用性广、无损伤、操作方便、重复性好、价格低的微波共面波导测试夹具、微波陶瓷元器件检测装置和检测方法。夹具设有微波共面波导、样品定位片、检测探针架和SMA接头。微波陶瓷元器件检测装置设有微波网络分析仪、微波共面波导测试夹具、输入同轴电缆和输出同轴电缆。检测方法的步骤为先后进行开路与短路校准检测和匹配负载校准后，进行数据测量，再对被测元器件进行并接检测和串接检测，最后进入相应测试软件，对测试数据分析、计算、处理和保存。

主权项

1、微波共面波导测试夹具，其特征在于设有：微波共面波导，微波共面波导设有波导底座、高频印刷电路板和紧固件，高频印刷电路板由紧固件固定在波导底座上，在高频印刷电路板上设有短路开路校准通道、匹配校准通道、并联检测通道和串联检测通道，短路开路校准通道的一端为短路校准负载，另一端为开路校准负载，在短路开路校准通道上设有短路线；匹配校准通道为匹配校准负载，在匹配校准通道上并接匹配电阻，获50Ω匹配负载；并联检测通道用于测试被测元器件的吸收峰，被测元器件放置于并联检测通道的内导体上，通过探针与并联检测通道外导体形成并接迴路；串联检测通道用于测试被测元器件的谐振峰，被测元器件跨接于串联检测通道的内导体断面两端，通过探针紧压被测元器件与串联检测通道内导体的断面紧密接触；样品定位片，样品定位片设于微波共面波导的高频印刷电路板上的并联检测通道或串联检测通道上，样品定位片上设有用于固定被测元器件样品的样品槽；检测探针架，检测探针架设有可调支架、探针、探针座、弹簧和闭合板，可调支架的底端跨接在微波共面波导的并联检测通道或串联检测通道上，可调支架上设有纵向开槽，探针座两侧与可调支架连接并可在可调支架的纵向开槽上调整上下位置，用于调整探针与微波共面波导的间距，探针穿过探针座中心通孔，弹簧套设于探针座中心通孔内，闭合板设于探针座顶部，用于固定探针在探针座中的位置；SMA接头，SMA接头设8对，分别对应于短路开路校准通道、匹配校准通道、并联检测通道和串联检测通道，SMA接头固定于波导底座的前后两侧，SMA接头的内导体与微波共面波导内导体连接，SMA接头的外导体与微波共面波导外导体连接，SMA接头用于与输入同轴电缆和输出同轴电缆连接。