[发明专利]抗蚀剂显像液中碳酸盐的除去方法、除去装置、及抗蚀剂显像液的浓度控制方法无效
| 申请号： | 200610005718.5 | 申请日： | 2006-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN1800990A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 梅枝孝道;北川悌也 | 申请（专利权）人： | 长濑产业株式会社;长濑CMS科学技术株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/32;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明目的在于提供从含TMAH及碳酸盐的抗蚀剂显像液中除去碳酸盐的方法、装置及抗蚀剂显像液的浓度控制方法。本发明所述的抗蚀剂显像液中碳酸盐的除去方法包括利用NF膜过滤含TMAH及碳酸盐的抗蚀剂显像液的过滤工序。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 显像 碳酸盐 除去 方法 装置 浓度 控制 | ||
【主权项】：
1.抗蚀剂显像液中的碳酸盐的除去方法，其特征在于包括利用NF膜过滤含氢氧化四甲铵及碳酸盐的抗蚀剂显像液的过滤工序。
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