[发明专利]探针测量装置及系统有效
| 申请号： | 200610005897.2 | 申请日： | 2006-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101004428A | 公开（公告）日： | 2007-07-25 |
| 发明（设计）人： | 许繁贤 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种探针测量装置及系统，此探针测量装置采用较大的电路板配置测试元件，同时改变电路板上各个测试元件的布局，因此能够增加电路板上所能配置的测试元件的数目，从而增加探针测量装置的探针数目。此外，更可将此探针测量装置安装到旧有的测试机器上，藉以提高旧有测试机器的探针测量效能，达到节省芯片测试成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 测量 装置 系统 | ||
【主权项】：
1、一种探针测量装置，适于测试半导体元件，该探针测量装置包括：电路板，包括第一面及第二面，且该第一面及该第二面皆具有中心点；多个弹簧接点，以该中心点为中心环状配置于该电路板的该第一面上；多个探针头，配置于该电路板的该第二面上，耦接至该些弹簧接点；多个电容器，以该中心点为中心环状配置于该电路板的该第一面上的该些弹簧接点的外侧；以及多个继电器，以该中心点为中心环状配置于该电路板的该第一面上的该些弹簧接点的外侧，分别耦接至该些弹簧接点及该些电容器。
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