[发明专利]电磁扫描微镜以及使用其的光学扫描装置有效
| 申请号： | 200610005909.1 | 申请日： | 2006-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN1825163A | 公开（公告）日： | 2006-08-30 |
| 发明（设计）人： | 李泳柱;池昌炫 | 申请（专利权）人： | LG电子株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/12 | 分类号： | G02B26/12;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;杨本良 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开的是用于光学扫描装置的电磁扫描微镜。电磁扫描微镜被设计以通过使用电磁力反射输入光束，该电磁扫描微镜可执行旋转操作，以实现反射光束路径的调制。电磁扫描微镜包括提供磁场的磁场发生器，具有反射面和附于反射面后表面的框架结构的镜板，围绕镜板的基片，连接镜板和基片的扭力杆对，以及在镜板反射面的后表面提供的磁性物质，其适于通过和从磁场发生器产生的磁场的相互作用产生驱动力。利用磁性物质产生的驱动力，镜板执行环绕定义了镜板的旋转轴的扭力杆的旋转操作。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 扫描 以及 使用 光学 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电磁扫描微镜，其包括：磁场发生器，其用于提供磁场；镜板，其具有发射面和附于反射面后表面的框架结构；基片，其围绕镜板；扭力杆对，其连接镜板和基片；以及磁性物质，其被在镜板的反射面后表面提供，且适于通过和从磁场发生器产生的磁场相互作用而产生驱动力，其中，利用从磁性物质产生的驱动力，镜板围绕定义了镜板的旋转轴的扭力杆执行旋转操作。
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