[发明专利]利用二维检测器测量薄膜特性的装置及测量方法

摘要

本发明涉及利用反射计的原理测量单层或多层薄膜的厚度轮廓和折射率分布的非接触的，非破坏型的测量装置。根据本发明，通过采用多于一个的窄带通滤光器和一个二维矩阵的CCD传感器，并且通过利用迭代数字计算方法得到所述单层或多层薄膜的厚度和对应的折射率之间非线性函数关系的最佳解，所述装置可以同时测量衬底上所述单层或多层薄膜其中的局部区域的厚度轮廓和折射率分布。

主权项

1.一种用于测量薄膜的特性的装置，所述装置包括：包括样本载体的衬底载体单元，用于支撑并移动上面具有薄膜的衬底；包括光源的光学单元，向由衬底载体支撑的衬底上辐射所发射的入射光；滤光器单元，对特定波长范围的，辐射到衬底上的入射光或从衬底反射的光有选择地进行滤光；二维光检测器，用于以二维来检测从衬底反射的光，所述光具有由滤光器单元选择的特定波长范围；图像捕捉单元，用于获得由二维光检测器检测的反射光中包括的图像信息；图像处理单元，用于利用由所述图像捕捉单元获得的反射光中包括的图像信息计算薄膜针对特定波长范围的光的反射率；和信息处理单元，用于根据反射率计算薄膜的特性。