[发明专利]工序管理装置及其控制方法、工序管理程序及记录介质

摘要

本发明要解决的课题是在对象物的处理工序中，高效地降低多种类且大量的异常。其中，工序管理装置(103)包括：工序异常检测部(112)、原因信息收集部(113)、以及频率数据制作部(114)；工序异常检测部(112)是对在工序中发生的、包括种类互不相同的各异常的多个异常，检测出异常的种类的块；原因信息收集部(113)是参照将表示上述异常种类的异常信息和表示该异常的原因的异常原因信息建立了对应的异常/原因对应表(122)，对上述多个异常分别读出与表示上述检测出的异常的种类的异常信息建立了对应的异常原因信息的块；频率数据制作部(114)是计算原因信息收集部(113)对上述异常原因信息的各个种类的读出频率的块。

主权项

1.一种工序管理装置，其特征在于，包括：检测机构，对对象物的处理工序中发生的、包括种类互不相同的各种异常的多个异常，分别检测出异常的种类；存储部，存储使表示上述异常种类的异常信息和用于改善该异常的改善利用信息建立对应的第一建立对应信息；读出机构，对于上述多个异常，分别参照上述第一建立对应信息，读出与表示上述检测出的异常的种类的异常信息建立对应的改善利用信息；以及频率计算机构，计算上述读出机构对上述改善利用信息的各个种类的读出频率。