[发明专利]硬涂层,形成硬涂层用的靶和形成硬涂层的方法有效
| 申请号： | 200610006681.8 | 申请日： | 2006-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN1818125A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 山本兼司 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈长会 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种具有优异的硬度和润滑性的硬涂层。该目的通过提供这样一种硬涂层而实现，所述硬涂层包含(Al1－aVa)(C1－XNX)，其中0.27≤a≤0.75，并且0.3≤X≤1，其中a和X独立地表示原子比率。 | ||
| 搜索关键词： | 涂层 形成 方法 | ||
【主权项】：
1、一种硬涂层，其包含(Al1-aVa)(C1-XNX)，其中0.27≤a≤0.75，并且0.3≤X≤1，其中a和X独立地表示原子比率。
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