[发明专利]紫外光光源装置无效
| 申请号： | 200610006803.3 | 申请日： | 2006-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101017330A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 张宏麒;李少谦 | 申请（专利权）人： | 欣兴电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 台湾省桃*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种紫外光光源装置，其适于作为一曝光机的光源。此紫外光光源装置包括一线路板以及多个紫外光发光二极管。这些紫外光发光二极管是以数组排列方式排列于线路板的一表面上，其中每个紫外光发光二极管是经由表面组装技术与线路板电性连接。此紫外光光源装置可以输出符合曝光制程的波长范围需求及高强度的光线。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 光源 装置 | ||
【主权项】：
1.一种紫外光光源装置，适于作为一曝光机的光源，该紫外光光源装置包括：一线路板；多数个紫外光发光二极管，以数组的排列方式排列于该线路板一表面上，并经由表面组装技术组装于该线路板的该表面上。
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