[发明专利]半导体激光近、远场分布观测装置无效
申请号: | 200610007505.6 | 申请日: | 2006-02-13 |
公开(公告)号: | CN1821798A | 公开(公告)日: | 2006-08-23 |
发明(设计)人: | 王晓华;王勇;赵英杰;姜晓光;刘波 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01N21/84;H01L33/00 |
代理公司: | 中国兵器工业集团公司专利中心 | 代理人: | 曲博 |
地址: | 130022吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 半导体激光近、远场分布观测装置属于半导体激光器器件测试技术领域。现有技术是将激光近、远场分布光斑转换为电信号后进行测试,缺乏直观性;另外,在远场分布测试上缺乏确定的方案,在列阵芯片测试方面手段欠便捷,效率低。本发明采用光学透镜系统和变像管这两个主要观测部件,并可构成两种工作状态,从而可以通过肉眼直接观测,包括单芯、阵列芯片的近、远场分布。本发明可应用半导体物理的教学和科研领域,还可以应用于半导体激光器器件的生产领域。 | ||
搜索关键词: | 半导体 激光 分布 观测 装置 | ||
【主权项】:
1、一种半导体激光近、远场分布观测装置,其特征在于:①在底座(1)的中部安置有支柱(2),载物台(3)固定在支柱(2)的上部,待测芯片(4)搁置在载物台(3)上;②在底座(1)的一侧固定有支杆(5),光学投影系统(6)由摆臂(7)连接在支杆(5)上,由连杆(8)将变像管(9)保持在芯片(4)的上方,连杆(8)的另一端连接在支杆(5)上;③当观测近场分布时,光学投影系统(6)保持在芯片(4)的上方,变像管(9)保持在光学投影系统(6)的上方;④当观测远场分布时,摆臂(7)绕支杆(5)摆动,将光学投影系统(6)从芯片(4)上方移开,连杆(8)沿支杆(5)下移,使变像管(9)接近芯片(4)。
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