[发明专利]薄膜图案层的制造方法无效
| 申请号： | 200610007547.X | 申请日： | 2006-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN101021686A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 王宇宁;许艳惠;周景瑜 | 申请（专利权）人： | 虹创科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/004;H01L21/00;G02B5/23;B41J2/01 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 台湾省新竹科学工业园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜图案层的制造方法，其步骤如下：提供一基板，其表面具有多个挡墙，该多个挡墙间形成多个收容空间；通过一喷墨装置将适量的墨水分别填充在该多个收容空间中，并使各收容空间中的墨水的可固化成份的体积与该收容空间的容积相同或相近；干燥固化收容空间中的墨水而形成薄膜图案层。该薄膜图案层的高度与挡墙的高度相同或相近。此制程无需以研磨或蚀刻等方式将挡墙及薄膜层磨平，便可达到所需要的平坦度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 图案 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜图案层的制造方法，其步骤如下：(1)提供一基板，其表面具有多个挡墙，该多个挡墙间形成多个收容空间；(2)通过一喷墨装置将适量的墨水分别填充在该多个收容空间中，并使各收容空间中的墨水的可固化成份的体积与该收容空间的容积相同或相近；(3)干燥固化收容空间中的墨水而形成薄膜图案层。
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