[发明专利]基板升降设备及其顶柱机构有效

专利信息
申请号: 200610007767.2 申请日: 2006-02-20
公开(公告)号: CN1810625A 公开(公告)日: 2006-08-02
发明(设计)人: 李天立;赵骏铭;戴家亮 申请(专利权)人: 广辉电子股份有限公司
主分类号: B66F11/00 分类号: B66F11/00
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 董惠石
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明涉及一种基板升降设备及其顶柱机构,所述顶柱机构包括一本体、一顶柱、一传动元件以及一弹性元件。顶柱设于该本体之上,该顶柱可以于一第一位置以及一第二位置之间移动。传动元件推动该顶柱,使该顶柱从该第一位置沿一第一方向移动至该第二位置。该顶柱设置弹性元件,该弹性元件对该顶柱提供一弹性力,其中,该弹性力的作用方向是朝向一第二方向,该第二方向相反于该第一方向。
搜索关键词: 升降 设备 及其 机构
【主权项】:
1.一种顶柱机构,其特征是,包括:一本体;一顶柱,设在该本体上,该顶柱可以在一第一位置以及一第二位置之间移动;一传动元件,该传动元件推动该顶柱,使该顶柱在该第一位置及该第二位置之间移动;以及一弹性元件,设在该顶柱上,该弹性元件对该顶柱移动至该第二位置时提供拉伸应力,对该顶柱移动至该第一位置时提供压缩应力。
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