[发明专利]保持架装置无效
申请号: | 200610008322.6 | 申请日: | 2006-02-17 |
公开(公告)号: | CN1825098A | 公开(公告)日: | 2006-08-30 |
发明(设计)人: | 加藤洋 | 申请(专利权)人: | 奥林巴斯株式会社 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;H01L21/66;G12B9/08;B65G49/06 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈坚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 相对于通过环形支承部件(5、5)使起模顶杆旋转移动的圆弧状的导向用开口部(8-1),设置通过往复动作缸(64)等可进退的锁定部件(61)。并且,在起模顶杆移动的时间之外,使锁定部件(61)进入以使其末端的卡合部(61a)与设置在对置位置的卡合块(65)卡合,以形成锁定状态,从而提高保持架主体的刚性。在起模顶杆移动时使锁定部件(61)退回,以形成解锁状态,从而使起模顶杆可以移动。 | ||
搜索关键词: | 保持 装置 | ||
【主权项】:
1.一种保持架装置,具有:载置基板的保持架主体;以及提升旋转机构,其使起模顶杆从该保持架主体的基板载置面进退,并使所述基板相对于所述基板载置面进行升降,并且,在从所述基板载置面举高所述基板的状态下,使所述基板在与所述基板载置面平行的面内旋转移动,其特征在于,在所述保持架主体上具有:导向用开口部,其使所述起模顶杆可以进退和旋转移动;锁定部件,其设置成相对该导向用开口部可以进退,在进入时横穿所述导向用开口部,并且可以在进入侧的导向用开口部内缘附近卡合;以及使该锁定部件进退的锁定部件进退机构。
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