[发明专利]基板检查方法和装置、及其检查逻辑设定方法和装置

摘要

基板检查方法和装置、及其检查逻辑设定方法和装置。本发明的课题是提供可以高速地且以较小的存储容量检查IC类部件的错位的技术。作为解决手段，预先存储检查逻辑，该检查逻辑包含规定检查对象部件的部件主体所呈现的颜色的颜色条件、以及判断条件，以不同的入射角对检查对象部件照射多种颜色的光，对其反射光进行拍摄，从而取得包含所述检查对象部件的部件主体的边缘的至少一部分的检查图像，使用所述颜色条件，通过图像处理，从所述检查图像中提取满足所述颜色条件的部件主体区域，通过图像处理确定所述部件主体区域的边缘，通过对所述边缘的特征量的值和所述判断条件进行比较，来判断所述检查对象部件是否为正确的位置和/或角度。

主权项

1.一种基板检查方法，通过基板检查装置检查安装在基板上的IC类部件的错位，包括以下步骤：预先存储检查逻辑，该检查逻辑包括规定检查对象部件的部件主体所呈现的颜色的颜色条件、以及判断条件，以不同的入射角对检查对象部件照射多种颜色的光，对其反射光进行拍摄，从而取得包含所述检查对象部件的部件主体的边缘的至少一部分的检查图像，使用所述颜色条件，通过图像处理，从所述检查图像中提取满足所述颜色条件的部件主体区域，通过图像处理确定所述部件主体区域的边缘，通过对所述边缘的特征量的值和所述判断条件进行比较，来判断所述检查对象部件是否为正确的位置和/或角度。