[发明专利]具有热控制系统的喷镀装置

摘要

一种用于在热学控制条件下将材料喷镀到基质上的设备，包括限定出内部并具有开口的外壳以及具有孔口并能将材料喷镀到基质上的喷镀装置。该喷镀装置位于该内部内，而该开口使该孔口与该外壳外面的环境相连通。该设备还包括热控制单元，该热控制单元以可操作的方式与所述外壳连接。该热控制单元包括涡流管，该涡流管具有与加压气体供应源连接的入口、与所述内部流体连通并用于将冷气输送到那里的冷气出口以及与所述内部流体连通并将热气输送到那里的热气出口。来自所述涡流管的冷气和热气用于控制所述喷镀装置的温度。

主权项

1.一种用于在热学控制条件下将材料喷镀到基质上的设备，包括：限定内部并具有开口的外壳；具有孔口并能将材料喷镀到基质上的喷镀装置，所述喷镀装置位于所述内部内，所述开口用于使所述孔口与所述外壳外面的环境相连通；以及热控制单元，该热控制单元以可操作的方式与所述外壳连接，以便为所述内部提供加热和冷却，所述热控制单元包括涡流管，该涡流管用于从加压气体供应源产生冷气流和热气流，所述涡流管具有与加压气体供应源连接的入口、与所述内部流体连通并用于将冷气输送到那里的冷气出口以及与所述内部流体连通并将热气输送到那里的热气出口，来自所述涡流管的冷气和热气用于控制所述喷镀装置的温度。