[发明专利]印刷线路板光学检查方法和光学检查设备无效
| 申请号： | 200610008608.4 | 申请日： | 2006-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN1892203A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 长谷川健治 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;H05K3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李春晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及印刷线路板光学检查方法和光学检查设备。在本发明的检查方法中，涂料涂覆辊子(13)利用用于图案检测的涂料R1涂覆作为被放置在台(11)上的要被检查的印刷线路板(12)的要被检查的图案表面上形成的、要被检查的图案P1，P2，...，Pn之一、并具有等于或大于参考图案厚度的厚度的每个图案(铜箔表面)。光学扫描器(15)然后通过光学扫描要被检查的图案表面而得到该图案表面的图像数据。检查设备(17)通过对于被形成在要被检查的图案表面上的图案P1，P2，...，Pn执行图像检测而检测由于从图案上方形成的凹陷和缺痕产生的缺陷的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 印刷 线路板 光学 检查 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种光学检查印刷线路板的图案的方法，其特征在于，包括：涂覆步骤，用涂料涂覆被形成在印刷线路板的要被检查的图案表面上、并具有不小于参考图案厚度的厚度的所有的图案；和检查步骤，光学扫描经受过涂覆步骤的印刷线路板的要被检查的图案表面，以便得到要被检查的图案表面的图像，并且从图像检测被涂覆以涂料的图案，以检查要被检查的图案表面上的图案。
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