[发明专利]液状物的喷出方法和装置、电光装置及其基板的制造方法

摘要

在从液滴喷头的喷嘴喷出液状物并涂敷在基板上的液状物的喷出方法和液状物的喷出装置中，在将基板的涂敷区域至少分割为2个区域的情况下，将对于该已分割的某1个区域的液状物的喷出量控制成比对于已分割的其它的区域的液状物的喷出量多。例如可利用旋转涂敷器使基板旋转。此外，在分割基板的涂敷区域时，可沿从基板的旋转中心算起位于规定距离的圆周分割为内侧区域和外侧区域的至少2个区域。此时，最好使对于外侧区域的液状物的喷出量比对于内侧区域的液状物的喷出量多。利用该结构，可得到膜厚分布小的、具有均匀的厚度的涂膜，同时可减少被涂敷的液状物的浪费以提高液状物的使用效率。

主权项

1.一种液状物的喷出方法，其中，在非圆形的基板上涂敷从液滴喷头的喷嘴喷出的液状物，其特征在于：除了从上述液滴喷头的喷嘴喷出液状物的喷出时间外，还设置不喷出液状物的非喷出时间。