[发明专利]液滴喷出装置的控制方法、液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子机器无效

专利信息
申请号: 200610008829.1 申请日: 2006-02-16
公开(公告)号: CN1820952A 公开(公告)日: 2006-08-23
发明(设计)人: 臼田秀范;有贺和巳 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B41J2/175 分类号: B41J2/175;B41J2/18;B41J2/01;B41J2/165;B41J2/045
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 汪惠民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种功能液供给装置的控制方法,其特征在于,在为了维持所定的动作压力,而实施加压供给动作(利用加压泵将功能液罐加压,由所述功能液罐将功能液加压供给喷出功能液滴的功能液滴喷出头)和描绘动作(一边使所述功能液滴喷出头对安装在描绘区域的被描绘对象物相对移动,一边驱动所述功能液滴喷出头,使之喷出所述功能液滴,进行描绘)的液滴喷出装置的控制方法中,包括:检出所述功能液罐内的压力是否在所述动作压力的下限压力以下的压力检出工序;在所述功能液罐内的压力在所述下限压力以下时,确认所述功能液滴喷出头是否正在进行所述描绘动作的描绘动作确认工序;确认不在进行所述描绘动作时,将所述功能液罐加压到所述动作压力的上限压力为止的第1加压控制工序。
搜索关键词: 喷出 装置 控制 方法 光学 制造 电子 机器
【主权项】:
1、一种液滴喷出装置的控制方法,所述液滴喷出装置实施加压供给动作和描绘动作,所述加压供给动作,利用加压泵对功能液罐加压以维持所定的动作压力,由所述功能液罐将功能液加压供给到喷出功能液滴的功能液滴喷出头,从而进行功能液的加压供给,所述描绘动作,一边使所述功能液滴喷出头相对于被设置在描绘区域的被描绘对象物进行移动,一边驱动所述功能液滴喷出头使之喷出所述功能液滴,从而进行描绘,其特征在于:包括:检出所述功能液罐内的压力是否在所述动作压力的下限压力以下的压力检出工序;当所述功能液罐内的压力处于所述下限压力以下时,确认所述功能液滴喷出头是否正在进行描绘动作的描绘动作确认工序;以及当得出不在进行所述描绘动作的确认时,将所述功能液罐加压到所述动作压力的上限压力为止的第1加压控制工序。
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