[发明专利]包含氟化物的水基除渣剂无效
| 申请号： | 200610008941.5 | 申请日： | 2006-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1821886A | 公开（公告）日： | 2006-08-23 |
| 发明（设计）人： | R·J·罗维托;吴爱萍 | 申请（专利权）人： | 气体产品与化学公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C09D9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘维升;邹雪梅 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在此公开了用于选择性除去残渣的组合物和包含该组合物的方法，残渣例如是灰化的光致抗蚀剂和/或工艺残渣。在一方面中，提供了用于除去残渣的组合物，其中组合物的pH值为约2～约9，该组合物包括：包括有机酸和该有机酸的共轭碱的缓冲溶液，其中酸与碱的摩尔比为10∶1～1∶10；氟化物；和水，条件是组合物基本不含额外的有机溶剂。在另一方面，组合物可以更进一步包括缓蚀剂和/或表面活性剂。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 氟化物 | ||
【主权项】：
1、一种用于除去残渣的组合物，其中所述组合物的pH值为约2～约9，该组合物包括：缓冲溶液，其包括有机酸和有机酸的共轭碱，所述酸与碱的摩尔比为10∶1～1∶10；氟化物，和水，条件是组合物基本不含额外的有机溶剂。
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