[发明专利]框架结构差分电容式加速度传感器无效
| 申请号： | 200610009668.8 | 申请日： | 2006-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN1804636A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 刘晓为;陈伟平;霍明学;谭晓昀;赵振刚 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 祖玉清 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供的是一种框架结构差分电容式加速度传感器。一种框架结构差分电容式加速度传感器，在硅片的背面刻蚀有键合所需的台面，玻璃基片与键合所需的台面键合形成固定块，硅的正面刻蚀有传感器的弹性梁、质量块、固定和活动电极图形，质量块是框架形状，键合块包括上、下、左、右和内部5个键合块，上下键合块上连接弹性梁，框架形状质量块连在两弹性梁之间，左右键合块的内侧和中间键合块的两侧带有固定电极，框架形状质量块上带有与固定电极相配合的活动电极。上下键合块以及与固定电极连接的各键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。本发明的优点在于传感器尺寸小、静态电容大，质量轻，无横向即非敏感方向干扰，结构简单，易于加工等。 | ||
| 搜索关键词： | 框架结构 电容 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种框架结构差分电容式加速度传感器，在硅片的背面刻蚀有键合所需的台面，玻璃基片与键合所需的台面键合形成固定块，硅的正面刻蚀有传感器的弹性梁、质量块、固定和活动电极图形，其特征是：质量块是框架形状，键合块包括上、下、左、右和内部5个键合块，上下键合块上连接弹性梁，框架形状质量块连在两弹性梁之间，左右键合块的内侧和中间键合块的两侧带有固定电极，框架形状质量块上带有与固定电极相配合的活动电极。
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