[发明专利]可调节反射式光学物镜装调系统无效
申请号: | 200610011198.9 | 申请日: | 2006-01-16 |
公开(公告)号: | CN101004555A | 公开(公告)日: | 2007-07-25 |
发明(设计)人: | 朱涛;李艳秋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电工研究所 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B26/08 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人: | 关玲 |
地址: | 100080北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种可调节反射式光学物镜装调系统,包括三组调节器组件[2]、物镜[3]、传感器[21]、由AD转换卡[23],单片机[24],DA转换卡[25],伺服放大器[26]组成的控制器[22]。传感器[21]发送来的模拟信号,首先到达AD转换卡[23]转换后,输送到单片机[24],单片机[24]计算出物镜[3]的实际位置和倾角,并通过与目标位置和倾角进行对比,计算出调节器组件[2]需要的调节参数,上述参数经DA转换卡[25]转换后,输出到伺服放大器[26],伺服放大器[26]将参数放大后传输给调节器组件[2],使调节器组件[2]产生相应的直线运动,驱动物镜[3]到达新位置。同时调节三组调节杆[13],可改变物镜[3]的高度和倾角;同时调节三个径向调节器[15],可改变物镜中心在水平面内位置,使同一装夹装置适用于不同直径的物镜。 | ||
搜索关键词: | 调节 反射 光学 物镜 系统 | ||
【主权项】:
1、一种可调节反射式光学物镜装调系统,其特征在于它由基座[1]、三组调节器组件[2]、物镜[3]、传感器[21]、控制器[22]组成;控制器[22]包括AD转换卡[23],单片机[24],DA转换卡[25],伺服放大器[26];由传感器[21]发送来的模拟信号,首先到达AD转换卡[23],经过模拟/数字信号转换后,输送到单片机[24];单片机[24]根据上述数据计算出物镜[3]的实际位置和倾角,并且通过与目标位置和倾角进行对比,计算出调节器组件[2]需要的调节参数,并把上述参数传递给DA转换卡[25]进行数字/模拟信号转换后,输出到伺服放大器[26];伺服放大器[26]将参数放大后传输给调节器组件[2],使调节器组件[2]产生相应的直线运动,驱动物镜[3]到达新位置。
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