[发明专利]径向/轴向六位集成一体化电涡流传感器

摘要

径向/轴向六位集成一体化电涡流传感器，其特征在于：由六位集成一体化电涡流传感器和探测体组成，传感器探头和探测体之间形成径向探测间隙和轴向探测间隙，所述的六位集成一体化电涡流传感器共有六个通道，六个通道的传感器探头和前置放大器全部集成在一个传感器座内，由径向位移探头、轴向位移探头、前置处理器、电源信号输出引线组成，其中的4个径向探头分别探测相互垂直的X和Y方向位移信号，另外两个轴向探头探测Z方向位移信号，这6个通道的前置放大器和探头集成一体，根据结构需要可设计成探测面外置(或探测面外置)的径向/轴向六位集成一体化电涡流传感器。本发明使6个通道的电涡流传感器集成一体，能够探测正交垂直的三个方向的位移信号，提高了探测精度和稳定性，并显著减小了体积、减轻了重量。

主权项

1、径向/轴向六位集成一体化电涡流传感器，其特征在于：它由探测XY方向径向位移信号的两组四路径向位移传感器探头及其四路前置放大器、探测Z向轴向位移信号的两路轴向位移传感器探头及其两路前置放大器组成，六路位移传感器探头及其前置放大器全部集成在一个传感器座内，其中两个径向位移传感器探头组成一对，分别位于X轴的两个方向成180°角，同时探测X方向的位移信号，另两个径向位移传感器探头组成另一对，分别位于Y轴的两个方向成180°角，同时探测Y方向的位移信号，两组中每对前置放大器之间均形成差动结构输出，其探测面为圆；两路轴向位移传感器探头位于Z轴的两个方向成180°角，同时探测Z向方向的位移信号，再经过两路前置放大器输出，其探测面为平面。