[发明专利]刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统及方法有效
| 申请号： | 200610011316.6 | 申请日： | 2006-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN1937505A | 公开（公告）日： | 2007-03-28 |
| 发明（设计）人： | 徐华;丁力;贾培发;王家廞;赵雁南 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;清华大学 |
| 主分类号： | H04L12/00 | 分类号： | H04L12/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 司君智 |
| 地址： | 100016*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微电子领域。本发明公开的一种刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统及方法，包括：集群控制器、工艺模块控制器，连接集群控制器与工艺模块控制器的以太网，还包括通讯模块，该通讯模块通过以太网将控制信息和状态信息在集群控制器与工艺模块控制器之间传输。方法：1)准备工作步骤；2)网络测试连接工作步骤；3)具体通信工作步骤：即进入正常运行状态后，集群控制器通过Web服务器与工艺模块控制器进行信息和指令的交互。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 集群 控制器 工艺 模块 通讯 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统，包括集群控制器、工艺模块控制器，连接集群控制器与工艺模块控制器的以太网，其特征在于还包括通讯模块，该通讯模块通过以太网将控制信息和状态信息在集群控制器与工艺模块控制器之间传输。
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