[发明专利]高精度单轴磁悬浮转台

摘要

高精度单轴磁悬浮转台由力矩电机、下保护轴承、下径向/轴向一体化位移传感器、下径向磁悬浮轴承、下底座、下轴向磁悬浮轴承、芯轴、上轴向磁悬浮轴承、上径向磁悬浮轴承、上径向/轴向一体化位移传感器、上底座、上保护轴承、角位置编码器和工作台组成，力矩电机的转子部分、下径向磁悬浮轴承的转子部分、下轴向磁悬浮轴承的转子部分、芯轴、上轴向磁悬浮轴承的转子部分、上径向磁悬浮轴承的转子部分、角位置编码器的转动部分和工作台为转动部分，其余为静止部分，定子和转子之间通过径向磁悬浮轴承和轴向磁悬浮轴承实现非机械接触的稳定悬浮。本发明显著降低了摩擦力矩、提高了控制精度和系统的安全性、减小了整个转台系统的体积、重量和噪声。

主权项

1、高精度单轴磁悬浮转台，其特征在于：主要由力矩电机(1)、下保护轴承(2)、下径向/轴向一体化位移传感器(3)、下径向磁悬浮轴承(4)、下底座(5)、下轴向磁悬浮轴承(6)、芯轴(7)、上轴向磁悬浮轴承(8)、上径向磁悬浮轴承(9)、上径向/轴向一体化位移传感器(10)、上底座(11)、上保护轴承(12)、角位置编码器(13)和工作台(14)组成，其中力矩电机(1)的转子部分、下径向磁悬浮轴承(4)的转子部分、下轴向磁悬浮轴承(6)的转子部分、芯轴(7)、上轴向磁悬浮轴承(8)的转子部分、上径向磁悬浮轴承(9)的转子部分、角位置编码器(13)的转动部分和工作台(14)为转台的转动部分，其余为转台的静止部分，定子和转子之间通过径向磁悬浮轴承和轴向磁悬浮轴承实现非机械接触稳定悬浮；上轴向磁悬浮轴承(8)和下轴向磁悬浮轴承(6)位于单轴磁悬浮转台的中部，其静止部分分别与上底座(11)和下底座(5)连接在一起，向外依次为上径向磁悬浮轴承(9)和下径向磁悬浮轴承(4)、上径向/轴向一体化位移传感器(10)和下径向/轴向一体化位移传感器(3)、上保护轴承(12)和下保护轴承(2)、工作台(14)和力矩电机(1)，在工作台的下面安装有角位置编码器(13)；上径向磁悬浮轴承(9)和下径向磁悬浮轴承(4)的静止部分分别与上底座(11)和下底座(5)连接在一起，其转子部分与芯轴(7)连接在一起。